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双频激光干涉仪

LH1000双频激光干涉仪

产品描述:

光刻机专用双频激光干涉仪
可构建XY位移台等多轴测量系统
全球独家采用直接输出线偏振光、大功率、大频差双频激光器
无圆偏振光转线偏振光非线性误差
大功率可同时测量更多数量的轴向位移
大频差,测量速度更快

服务热线:400-8168-900
立即咨询

专为光刻机配套开发的高精度测量系统;

通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。

采用全球唯一能直接输出线偏振光的双频激光器;

全球最低非线性高精密测量系统,测量更精准;

可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。

光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统;

精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装;

标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。



型号

频差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

稳频精度(ppm)

LH1000A

1.5-2.0

>500

6

±0.02

LH1000B

1.9-2.4

> 500

6

±0.02

LH1000C

2.4-3.0

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000CL

2.4-3.0

> 500

6

±0.02

LH1000D

3.4-4.0

>500

6, 9

±0.02

LH1000DL

4.0-5.5

> 500

6, 9

±0.02

LH1000EL

5.5-6.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

6.5-7.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000GL

7.5-8.5

> 500

9

±0.02

LH1000H

8.5-10.0

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(可定制)

> 500

3, 6, 9

±0.02

注:LH1000x系列出光高度为79.5mm,LH1000xL系列出光高度为80.8mm。

QQ截图20190218110850.png

 


恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

LH1000双频激光干涉仪应用于尼康光刻机后,其工作台精度由原来的23nm提高到6nm!

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